سیمیکمڈکٹر انڈسٹری میں گیس کی صنعت

سیمیکمڈکٹر انڈسٹری میں گیسوں کا استعمال 1950 ء سے 1960 ء کی دہائی کے اوائل میں ہے۔ سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ کے عمل کے دوران ، گیسوں کو بنیادی طور پر سیمی کنڈکٹر مواد کو صاف کرنے اور ان کی حفاظت کے لئے استعمال کیا جاتا ہے تاکہ ان کی پاکیزگی اور معیار کو یقینی بنایا جاسکے۔ عام طور پر استعمال ہونے والی گیسوں میں نائٹروجن اور ہائیڈروجن شامل ہیں۔

چونکہ سیمیکمڈکٹر ٹکنالوجی تیار ہوئی اور مینوفیکچرنگ کے عمل میں بہتری آتی جارہی ہے ، گیسوں کی طلب میں اضافہ ہوا۔ 1970 میں ، سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ ٹکنالوجی کی مزید ترقی ، کلیدی عملوں میں گیسوں کا اطلاق جیسے پتلا فلموں کی جمع اور جمع کرنے میں آہستہ آہستہ اضافہ ہوا ، اور فلورائڈ گیسیں (جیسے SF6) اور آکسیجن عام طور پر استعمال شدہ اینچنگ اور جمع گیسوں کا استعمال ہوا۔ 1980 میں مربوط سرکٹس کی ترقی اور ان کی طلب میں اضافے کے ساتھ گیسوں کی طلب میں مزید اضافہ دیکھا گیا۔ ہائیڈروجن مینوفیکچرنگ کے عمل میں بڑے پیمانے پر استعمال ہوتا تھا ، جس میں ہائیڈروجن انیلنگ اور ہائیڈروجن بخارات جمع شامل ہیں۔ اور 1990 سے لے کر آج تک ، اعلی طہارت گیسوں اور مخصوص گیسوں کی مانگ میں اضافہ ہوا ہے کیونکہ سیمیکمڈکٹر ڈیوائس کے سائز سکڑتے رہتے ہیں اور نئے عمل متعارف کروائے گئے ہیں۔ مثال کے طور پر ، انتہائی الٹرا وایلیٹ لتھوگرافی (EUV) کے اطلاق کے لئے انتہائی اعلی طہارت گیسوں جیسے نائٹروجن اور ہائیڈروجن کے استعمال کی ضرورت ہوتی ہے۔

زیادہ سے زیادہ مصنوعات کے ذریعہ چلنے والی مصنوعات کی ترقی کے ساتھ سیمیکمڈکٹر گیس میں اضافہ جاری ہے ، جبکہ گیس بھی خطرہ کے ذریعہ سے تعلق رکھتی ہے ، لہذا گیس کی کمی ، گیس کا پتہ لگانے کی مصنوعات اور گیس کے رساو کی مصنوعات کو روکنے کے لئے استعمال ہونے والی مصنوعات سامنے آئیں ہیں جیسے دباؤ کے ریگولیٹرز ، گیس کے دباؤ ، گیس کے دباؤ کا پتہ لگانے والے ، اور ان کے حصص کی پیروی کرتے ہیں۔

پریشر ریگولیٹرز: پریشر ریگولیٹرز گیس دباؤ کو کنٹرول کرنے کے لئے استعمال ہونے والے آلات ہیں۔ وہ عام طور پر ایک ریگولیٹر والو اور پریشر سینسر پر مشتمل ہوتے ہیں۔ پریشر ریگولیٹرز ہائی پریشر گیس ان پٹ لیتے ہیں اور درخواست کی مخصوص ضروریات کو پورا کرنے کے لئے والو کو ایڈجسٹ کرکے آؤٹ پٹ گیس کے دباؤ کو مستحکم کرتے ہیں۔ گیس کی فراہمی کے استحکام اور حفاظت کو یقینی بنانے کے لئے ، صنعت ، مینوفیکچرنگ اور لیبارٹریوں کے ساتھ ساتھ سیمیکمڈکٹر انڈسٹری میں بھی دباؤ کے ریگولیٹرز بڑے پیمانے پر استعمال ہوتے ہیں۔

گیس والوز: گیس کے والوز کا استعمال گیسوں کے بہاؤ کو کنٹرول کرنے اور گیس کے حصئوں کو بند کرنے کے لئے کیا جاتا ہے۔ ان کے پاس عام طور پر آن/آف فنکشن ہوتا ہے جو گیس کے بہاؤ کو کھولتا ہے یا بند کرتا ہے۔ گیس والوز کی مختلف اقسام ہیں ، جن میں دستی والوز ، الیکٹرک والوز اور نیومیٹک والوز شامل ہیں۔ گیسوں کے بہاؤ ، دباؤ اور بہاؤ کی شرح کو کنٹرول کرنے کے لئے وہ گیس کے نظام میں بڑے پیمانے پر استعمال ہوتے ہیں۔

گیس پریشر گیجز: گیس کے دباؤ کی سطح کو گیس کے دباؤ کی سطح کی پیمائش کرنے کے لئے استعمال کیا جاتا ہے۔ دباؤ کی تبدیلیوں کی نگرانی کے لئے وہ عام طور پر گیس کے نظام میں اہم مقامات پر نصب ہوتے ہیں اور اس بات کو یقینی بناتے ہیں کہ وہ محفوظ حدود میں ہیں۔ گیس پریشر گیجز کو صنعت ، مینوفیکچرنگ اور لیبارٹریوں میں بڑے پیمانے پر استعمال کیا جاتا ہے ، اور سیمیکمڈکٹر انڈسٹری بھی اس میں شامل رہی ہے۔

گیس لیک ڈٹیکٹر: گیس کے نظام میں لیک کا پتہ لگانے کے لئے گیس لیک ڈٹیکٹر استعمال کیے جاتے ہیں۔ وہ پتہ لگاتے ہیںگیس کے رساو کی موجودگی اور ایک الارم کی آواز تاکہ رساو حادثات کو روکنے کے لئے بروقت کارروائی کی جاسکے۔ صنعتی ، کیمیائی ، تیل اور گیس کے استعمال میں گیس لیک ڈٹیکٹر بڑے پیمانے پر استعمال ہوتے ہیں ، اور سیمیکمڈکٹر انڈسٹری بھی اس میں شامل ہے۔