جیسے جیسے سیمیکمڈکٹر مارکیٹ بڑھتی جارہی ہے ، طہارت اور درستگی کے معیارات مزید سخت ہوجاتے ہیں۔ سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ کے معیار میں فیصلہ کن عوامل میں سے ایک عمل میں استعمال ہونے والی گیسیں ہیں۔ یہ گیسیں مینوفیکچرنگ کے عمل میں بہت سے کردار ادا کرتی ہیں ، بشمول:
صحت سے متعلق عمل کا کنٹرول
آلودگی کی روک تھام
میٹالرجیکل پراپرٹی میں اضافہ
ان کرداروں کو مؤثر طریقے سے انجام دینے کے لئے ، گیس کی فراہمی اور تقسیم کا نظام موثر ہونا چاہئے۔ سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ میں استعمال ہونے والے گیس ہینڈلنگ سسٹم کے ڈیزائن کو سیمیکمڈکٹرز کی قابل اعتماد اور اعلی معیار کی تیاری کو یقینی بنانے کے لئے مضبوط اجزاء اور اپنی مرضی کے مطابق اسمبلیاں کی مدد کرنی ہوگی۔
سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ میں استعمال ہونے والی گیسیں
سیمی کنڈکٹرز کی تیاری کے عمل کے لئے عمل کے مختلف مراحل پر مختلف گیسوں کے استعمال کی ضرورت ہوتی ہے۔
اگرچہ عام گیسوں جیسے نائٹروجن ، ہائیڈروجن ، ارگون اور ہیلیم کو ان کی خالص شکل میں استعمال کیا جاسکتا ہے ، لیکن کچھ عملوں کو خصوصی مرکب کی ضرورت پڑسکتی ہے۔ سلین یا سلوکسینز ، ہیکسفلوورائڈز ، ہالیڈس اور ہائیڈرو کاربن سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ میں استعمال ہونے والی کچھ خاص گیسیں ہیں۔ ان میں سے بہت سے گیسیں مؤثر یا انتہائی رد عمل ہوسکتی ہیں ، جس سے گیس سسٹم کے اجزاء کے انتخاب اور ڈیزائن میں چیلنجز پیدا ہوتے ہیں۔
یہاں کچھ مثالیں ہیں:
\ ہائیڈروجن اور ہیلیم ان کے چھوٹے جوہری سائز اور وزن کی وجہ سے پائپنگ اور فٹنگ سسٹم سے آسانی سے لیک ہوسکتے ہیں۔
\ سیلینز انتہائی آتش گیر ہیں اور وہ ہوا میں بے ساختہ (آٹوگائنائٹ) کمبھار سکتے ہیں۔
environment ماحول میں لیک ہونے پر جمع ، اینچنگ اور چیمبر کی صفائی کے مراحل میں استعمال ہونے والے ، نٹروجن ڈفلوورائڈ کا استعمال ایک طاقتور گرین ہاؤس گیس بن جاتا ہے۔
\ ہائیڈروجن فلورائڈ (اینچنگ گیس) دھات کی پائپنگ کے لئے انتہائی سنکنرن ہے۔
\ ٹرائیمتھائلگیلیم اور امونیا کو سنبھالنا مشکل ہوسکتا ہے - ان کے درجہ حرارت اور دباؤ کی ضروریات میں چھوٹے اتار چڑھاؤ جمع ہونے کے عمل کو متاثر کرسکتے ہیں۔
ان گیسوں کے منفی اثرات کو کم سے کم کرنے کے لئے عمل کے حالات کو کنٹرول کرنا نظام کے ڈیزائن کے دوران اولین ترجیح ہونی چاہئے۔ تعمیر کے عمل کے دوران اعلی معیار کے اجزاء جیسے اے ایف کے ڈایافرام والوز کو استعمال کرنا بھی اتنا ہی ضروری ہے۔
سسٹم ڈیزائن چیلنجوں سے نمٹنے کے
سیمیکمڈکٹر گریڈ گیسیں زیادہ تر پاکیزگی کے زیادہ تر معاملات میں ہوتی ہیں اور غیر فعال حالات فراہم کرتی ہیں یا مینوفیکچرنگ کے عمل کے مختلف مراحل پر رد عمل کو بڑھاتی ہیں ، جیسے اینچ اور جمع گیسیں۔ اس طرح کی گیسوں کی رساو یا آلودگی کے منفی اثرات پڑ سکتے ہیں۔ لہذا ، یہ نظام کے اجزاء کے ل critical اہم ہے جو ہرمیٹک طور پر مہر لگایا جاتا تھا اور سنکنرن مزاحم ہوتا ہے اور ساتھ ہی اس بات کا یقین کرنے کے لئے کہ آلودگی کا کوئی امکان نہیں ہے اور یہ کہ انتہائی اعلی سطح کی صفائی برقرار رہ سکتی ہے۔
اس کے علاوہ ، مطلوبہ عمل کے حالات کو حاصل کرنے کے ل these ان میں سے کچھ گیسوں کو گرم یا ٹھنڈا کیا جاسکتا ہے۔ اچھی طرح سے موصل اجزاء درجہ حرارت پر قابو پانے کو یقینی بناتے ہیں ، جو حتمی مصنوع کی موثر کارکردگی کے لئے اہم ہے۔
ماخذ inlet سے لے کر استعمال کے مقام تک ، AFK کے وسیع پیمانے پر اجزاء الٹرا ہائی پاکیزگی ، درجہ حرارت ، دباؤ اور بہاؤ کنٹرول کی حمایت کرتے ہیں جو سیمیکمڈکٹر کلین رومز اور ویکیوم چیمبروں میں درکار ہیں۔
سیمیکمڈکٹر فیبس میں معیار کے اجزاء کے ساتھ ڈیزائن کردہ سسٹم
معیار کے اجزاء اور ڈیزائن کی اصلاح کا کردار سیمیکمڈکٹرز کے عین مطابق کنٹرول اور محفوظ تیاری کے لئے اہم ہے۔ استعمال شدہ اجزاء کو مینوفیکچرنگ کے مختلف مراحل پر درکار مختلف عمل کی شرائط سے ملنے کے لئے مضبوط اور لیک فری ہونے کی ضرورت ہے۔ اے ایف کے کے اعلی معیار کے والوز ، فٹنگ ، ریگولیٹرز ، پائپنگ ، اور سگ ماہی بریکٹ مندرجہ ذیل خصوصیات کی خصوصیات ہیں۔
الٹرا ہائی پاکیزگی
لیک فری مہریں
درجہ حرارت پر قابو پانے والی موصلیت
پریشر کنٹرول
سنکنرن مزاحمت
الیکٹرولائٹک پالش کرنے کا علاج
وقت کے بعد: اکتوبر -09-2023