سیمیکمڈکٹر کے عمل کے ل high اعلی طہارت گیس کی ترسیل کے نظام کے ل Technology ٹکنالوجی کے حل

اعلی طہارت گیس پائپنگ ٹکنالوجی اعلی طہارت گیس کی فراہمی کے نظام کا ایک اہم حصہ ہے ، جو مطلوبہ اعلی طہارت گیس کو استعمال کے مقام تک پہنچانے اور پھر بھی اہل معیار کو برقرار رکھنے کے لئے کلیدی ٹکنالوجی ہے۔ اعلی طہارت گیس پائپنگ ٹکنالوجی میں اس نظام کا صحیح ڈیزائن ، متعلقہ سامان اور لوازمات ، تعمیر اور تنصیب ، اور جانچ شامل ہیں۔ حالیہ برسوں میں ، بڑے پیمانے پر مربوط سرکٹس کے ذریعہ پیش کردہ مائکرو الیکٹرانکس مصنوعات کی تیاری میں اعلی طہارت گیسوں کی پاکیزگی اور ناپاکی کے مواد پر تیزی سے سخت ضروریات نے اعلی طہارت گیسوں کی پائپنگ ٹکنالوجی کو تیزی سے متعلقہ بنا دیا ہے اور اس پر زور دیا گیا ہے۔ مندرجہ ذیل مواد کے انتخاب سے اعلی طہارت گیس پائپنگ کا ایک مختصر جائزہ ہےof تعمیر کے ساتھ ساتھ قبولیت اور روزانہ کا انتظام۔

عام گیسوں کی اقسام

الیکٹرانکس انڈسٹری میں عام گیسوں کی درجہ بندی：

عام گیسیں（بلک گیس.: ہائیڈروجن (h₂₎، نائٹروجن (این₂) ، آکسیجن (o₂) ، ارگون (a₂) ، وغیرہ۔

خاص گیسیںسیہ ہیں₄ ,PH₃ ,B₂H_{6 ,}A₈H₃ ,CL ,HCl,CF₄ ,NH_3,pocl_3, سیہ 2 سی ایل₂ sihcl3,NH_3,  بی سی ایل_{3 ,}sif₄ ,سی ایل ایف₃ ,CO,C₂F_6, N2O,F_2,HF,HBR SF₆…… وغیرہ۔

خصوصی گیسوں کی اقسام کو عام طور پر سنکنرن کے طور پر درجہ بندی کیا جاسکتا ہےگیس، زہریلاگیس، آتش گیرگیس، آتش گیرگیس، جڑگیس، وغیرہ۔ عام طور پر استعمال ہونے والی سیمیکمڈکٹر گیسوں کو عام طور پر مندرجہ ذیل درجہ بندی کیا جاتا ہے۔

(i) سنکنرن / زہریلاگیس: HCl ، BF₃، WF₆، ایچ بی آر ، سیہ₂Cl₂، NH₃، پی ایچ₃، سی ایل₂، بی سی ایل₃… وغیرہ۔

(ii) آتش گیرگیس: h₂، CH₄، سیہ₄، پی ایچ₃، ایش 3 ، سیہ₂Cl₂، بی₂H₆، CH2F_2,CH₃F ، CO… وغیرہ۔

(iii) مرکبگیس: o₂، سی ایل₂، این₂o ، nf₃… وغیرہ۔

(iv) جڑگیس: n₂، cf₄، سی₂F₆، سی₄F_8,sf₆، شریک₂، NE ، KR ، وہ… وغیرہ۔

بہت سے سیمیکمڈکٹر گیسیں انسانی جسم کے لئے نقصان دہ ہیں۔ خاص طور پر ، ان میں سے کچھ گیسیں ، جیسے سیہ₄ اچانک دہن ، جب تک کہ رساو ہوا میں آکسیجن کے ساتھ پرتشدد رد عمل کا اظہار کرے گا اور جلنے لگے گا۔ اور ایش₃انتہائی زہریلا ، کوئی بھی معمولی رساو انسانی زندگی کے خطرے کا سبب بن سکتا ہے ، یہ ان واضح خطرات کی وجہ سے ہے ، لہذا نظام کے ڈیزائن کی حفاظت کی ضروریات خاص طور پر زیادہ ہیں۔

گیسوں کا اطلاق کا دائرہ  

جدید صنعت کے ایک اہم بنیادی خام مال کے طور پر ، گیس کی مصنوعات کو وسیع پیمانے پر استعمال کیا جاتا ہے ، اور بڑی تعداد میں عام گیسوں یا خصوصی گیسوں کا استعمال دھات کاری ، اسٹیل ، پٹرولیم ، کیمیائی صنعت ، مشینری ، الیکٹرانکس ، شیشے ، سیرامکس ، بلڈنگ میٹریل ، تعمیراتی ، فوڈ پروسیسنگ ، طب اور طبی شعبوں میں ہوتا ہے۔ گیس کے اطلاق کا خاص طور پر ان شعبوں کی اعلی ٹکنالوجی پر ایک اہم اثر پڑتا ہے ، اور یہ اس کا ناگزیر خام مال گیس یا عمل گیس ہے۔ صرف مختلف صنعتی شعبوں اور جدید سائنس اور ٹکنالوجی کی ضروریات اور فروغ کے ساتھ ، گیس انڈسٹری کی مصنوعات کو مختلف قسم ، معیار اور مقدار کے لحاظ سے چھلانگ اور حدود کے ذریعہ تیار کیا جاسکتا ہے۔

مائیکرو الیکٹرانکس اور سیمیکمڈکٹر انڈسٹری میں گیس کی درخواست

سیمی کنڈکٹر کے عمل میں گیس کے استعمال نے ہمیشہ ایک اہم کردار ادا کیا ہے ، خاص طور پر سیمیکمڈکٹر کے عمل کو مختلف صنعتوں میں وسیع پیمانے پر استعمال کیا گیا ہے ، روایتی ULSI ، TFT-LCD سے لے کر موجودہ مائکرو الیکٹرو-مکینیکل (MEMS) صنعت تک ، یہ سبھی نام نہاد سیمکنڈکٹر عمل کو مصنوعات کی تیاری کے عمل کے طور پر استعمال کرتے ہیں۔ گیس کی پاکیزگی اجزاء اور مصنوعات کی پیداوار کی کارکردگی پر فیصلہ کن اثر ڈالتی ہے ، اور گیس کی فراہمی کی حفاظت اہلکاروں کی صحت اور پودوں کی کارروائیوں کی حفاظت سے متعلق ہے۔

اعلی طہارت گیس کی نقل و حمل میں اعلی طہارت پائپنگ کی اہمیت

سٹینلیس سٹیل پگھلنے اور بنانے کے مواد کے عمل میں ، تقریبا 200 گرام گیس فی ٹن جذب کی جاسکتی ہے۔ سٹینلیس سٹیل کی پروسیسنگ کے بعد ، نہ صرف اس کی سطح مختلف آلودگیوں کے ساتھ چپچپا ، بلکہ اس کی دھات کی جالی میں بھی ایک خاص مقدار میں گیس جذب کرتی ہے۔ جب پائپ لائن کے ذریعے ہوا کا بہاؤ ہوتا ہے تو ، دھات گیس کے اس حصے کو جذب کرتی ہے ، خالص گیس کو آلودہ کرتے ہوئے ، ہوا کے بہاؤ میں دوبارہ داخل ہوجائے گی۔ جب ٹیوب میں ہوا کا بہاؤ متضاد بہاؤ ہوتا ہے تو ، ٹیوب دباؤ کے تحت گیس کو جذب کرتی ہے ، اور جب ہوا کا بہاؤ گزرنا بند ہوجاتا ہے تو ، ٹیوب کے ذریعہ ایڈسربڈ گیس کو حل کرنے کے لئے دباؤ کا قطرہ بناتا ہے ، اور حل شدہ گیس بھی نجات کے طور پر ٹیوب میں خالص گیس میں داخل ہوتی ہے۔ ایک ہی وقت میں ، جذب اور قرارداد کو دہرایا جاتا ہے ، تاکہ ٹیوب کی اندرونی سطح پر دھات بھی ایک خاص مقدار میں پاؤڈر تیار کرتی ہے ، اور اس دھات کی دھول کے ذرات بھی ٹیوب کے اندر خالص گیس کو آلودہ کرتے ہیں۔ ٹیوب کی یہ خصوصیت نقل و حمل کی گیس کی پاکیزگی کو یقینی بنانے کے لئے ضروری ہے ، جس میں نہ صرف ٹیوب کی اندرونی سطح کی ایک بہت ہی تیز رفتار کی ضرورت ہوتی ہے ، بلکہ ایک اعلی لباس مزاحمت بھی ہوتی ہے۔

جب مضبوط سنکنرن کارکردگی والی گیس کا استعمال کیا جاتا ہے تو ، پائپنگ کے لئے سنکنرن مزاحم سٹینلیس سٹیل کے پائپوں کا استعمال کرنا چاہئے۔ بصورت دیگر ، پائپ سنکنرن کی وجہ سے اندرونی سطح پر سنکنرن کے دھبے پیدا کرے گا ، اور سنگین معاملات میں ، دھات کی اتارنے یا اس سے بھی سوراخ کا ایک بہت بڑا علاقہ ہوگا ، جو تقسیم کرنے کے لئے خالص گیس کو آلودہ کرے گا۔

اعلی طہارت اور اعلی صفائی گیس ٹرانسمیشن اور بڑے بہاؤ کی شرحوں کی تقسیم پائپ لائنوں کا کنکشن۔

اصولی طور پر ، ان سب کو ویلڈیڈ کیا جاتا ہے ، اور جب استعمال شدہ ٹیوبوں کو ویلڈنگ کا اطلاق ہوتا ہے تو تنظیم میں کوئی تبدیلی نہیں ہوتی ہے۔ بہت زیادہ کاربن مواد والے مواد ویلڈنگ کے وقت ویلڈیڈ حصوں کی ہوا کی پارگمیتا کے تابع ہوتے ہیں ، جو پائپ کے اندر اور باہر گیسوں کا باہمی دخول بناتا ہے اور منتقلی گیس کی پاکیزگی ، سوھاپن اور صفائی کو ختم کردیتا ہے ، جس کے نتیجے میں ہماری تمام کوششوں کا نقصان ہوتا ہے۔

خلاصہ یہ کہ اعلی طہارت گیس اور خصوصی گیس ٹرانسمیشن پائپ لائن کے ل high ، اعلی طہارت کے پائپ لائن سسٹم (جس میں پائپ ، فٹنگز ، والوز ، وی ایم بی ، وی ایم پی سمیت اعلی طہارت گیس کی تقسیم میں اعلی طہارت کے پائپ لائن کا نظام (بشمول پائپ ، فٹنگز ، والوز ، وی ایم بی ، وی ایم پی شامل ہے) کا استعمال کرنا ضروری ہے۔

ٹرانسمیشن اور تقسیم پائپ لائنوں کے لئے صاف ٹیکنالوجی کا عمومی تصور

پائپنگ کے ساتھ انتہائی خالص اور صاف گیس باڈی ٹرانسمیشن کا مطلب یہ ہے کہ گیس کے تین پہلوؤں کو لے جانے کے لئے کچھ تقاضے یا کنٹرول موجود ہیں۔

گیس کی پاکیزگی: جی جی اے ایس پاکیزگی میں ناپاک ماحول کا مواد: گیس میں ناپاک ماحول کا مواد ، عام طور پر گیس کی پاکیزگی کی فیصد کے طور پر ظاہر کیا جاتا ہے ، جیسے 99.9999 ٪ ، نے بھی ناپاک ماحول کے مواد پی پی ایم ، پی پی بی ، پی پی ٹی کے حجم تناسب کے طور پر اظہار کیا۔

سوھاپن: گیس میں ٹریس نمی کی مقدار ، یا گیلے پن نامی رقم ، عام طور پر اوس پوائنٹ کے لحاظ سے ظاہر کی جاتی ہے ، جیسے وایمنڈلیی پریشر اوس پوائنٹ -70۔ ال

صفائی ستھرائی: گیس میں موجود آلودہ ذرات کی تعداد ، µm کے ذرہ سائز ، کتنے ذرات/ایم 3 کو اظہار خیال کرنا ہے ، کمپریسڈ ہوا کے لئے ، عام طور پر یہ بھی ظاہر کیا جاتا ہے کہ کتنے مگرا/ایم 3 ناگزیر ٹھوس اوشیشوں کے کتنے ایم جی/ایم 3 ، جو تیل کے مواد کا احاطہ کرتے ہیں۔

آلودگی کے سائز کی درجہ بندی: آلودگی کے ذرات ، بنیادی طور پر پائپ لائن سکورنگ ، پہننے ، دھات کے ذرات ، وایمنڈلیی سوٹ ذرات ، نیز مائکروجنزموں ، مرحلے اور نمی پر مشتمل گیس گاڑھا بوندوں وغیرہ کے ذریعہ پیدا ہونے والے سنکنرن سے مراد ہیں۔

a) بڑے ذرات - ذرہ سائز 5μm سے اوپر

b) ذرہ-0.1μm-5μm کے درمیان مادی قطر

c) الٹرا مائیکرو ذرات-ذرہ سائز 0.1μm سے کم۔

اس ٹکنالوجی کے اطلاق کو بڑھانے کے ل part ، ذرہ سائز اور μm یونٹوں کی ادراک کی تفہیم کے قابل ہونے کے ل reference ، حوالہ کے لئے مخصوص ذرہ حیثیت کا ایک سیٹ فراہم کیا جاتا ہے۔

مندرجہ ذیل مخصوص ذرات کا موازنہ ہے