سیمی کنڈکٹر پروسیسز کے لیے ہائی پیوریٹی گیس ڈلیوری سسٹمز کے لیے ٹیکنالوجی کے حل

ہائی پیوریٹی گیس پائپنگ ٹیکنالوجی ہائی پیوریٹی گیس سپلائی سسٹم کا ایک اہم حصہ ہے، جو کہ مطلوبہ ہائی پیوریٹی گیس کو استعمال کے مقام تک پہنچانے اور پھر بھی کوالیفائیڈ کوالٹی کو برقرار رکھنے کے لیے کلیدی ٹیکنالوجی ہے۔ہائی پیوریٹی گیس پائپنگ ٹیکنالوجی میں سسٹم کا صحیح ڈیزائن، متعلقہ اشیاء اور لوازمات کا انتخاب، تعمیر اور تنصیب اور جانچ شامل ہے۔حالیہ برسوں میں، بڑے پیمانے پر انٹیگریٹڈ سرکٹس کی نمائندگی کرنے والی مائیکرو الیکٹرانکس مصنوعات کی تیاری میں اعلیٰ طہارت والی گیسوں کی پاکیزگی اور ناپاک مواد کے لیے بڑھتے ہوئے سخت تقاضوں نے اعلیٰ طہارت والی گیسوں کی پائپنگ ٹیکنالوجی کو تشویشناک اور اس پر زور دیا ہے۔مندرجہ ذیل مواد کے انتخاب سے اعلی پاکیزگی گیس پائپنگ کا ایک مختصر جائزہ ہے۔of تعمیر، نیز قبولیت اور روزانہ کا انتظام۔

عام گیسوں کی اقسام

الیکٹرانکس کی صنعت میں عام گیسوں کی درجہ بندی：

عام گیسیں۔(بلک گیس): ہائیڈروجن (H₂₎، نائٹروجن (N₂)، آکسیجن (O₂آرگن (A₂)، وغیرہ

خصوصی گیسیں۔SiH ہیں₄ ,PH₃ ,B₂H_{6 ,}A₈H₃ ,CL ,ایچ سی ایل,CF₄ ,NH_3,پی او سی ایل_3, SIH2CL₂ SIHCL3,NH_3,  بی سی ایل_{3 ,}ایس آئی ایف₄ ,سی ایل ایف₃ ,شریک,C₂F_6, N2O,F_2,ایچ ایف,ایچ بی آر ایس ایف₆…… وغیرہ

خاص گیسوں کی اقسام کو عام طور پر سنکنرن کے طور پر درجہ بندی کیا جا سکتا ہے۔گیس، زہریلاگیس، آتش گیرگیس، آتش گیرگیس، غیر فعالگیسوغیرہ۔ عام طور پر استعمال ہونے والی سیمی کنڈکٹر گیسوں کو عام طور پر درج ذیل درجہ بندی کیا جاتا ہے۔

(i) corrosive/زہریلاگیس: ایچ سی ایل، بی ایف₃، ڈبلیو ایف₆, HBr , SiH₂Cl₂، NH₃، پی ایچ₃،کل₂، BCl₃…وغیرہ

(ii) flammabilityگیس: ایچ₂، چودھری₄، SiH₄، پی ایچ₃، AsH3، SiH₂Cl₂، بی₂H₆، CH2F_2,چودھری₃F، CO… وغیرہ

(iii) دہن کی صلاحیتگیس:O₂،کل₂، این₂او، این ایف₃… وغیرہ

(iv) جڑگیس: این₂، سی ایف₄، سی₂F₆، سی₄F_8,ایس ایف₆، شریک₂، نی، کر، وہ… وغیرہ۔

بہت سی سیمی کنڈکٹر گیسیں انسانی جسم کے لیے نقصان دہ ہیں۔خاص طور پر، ان میں سے کچھ گیسیں، جیسے SiH₄ اچانک دہن، جب تک کہ ایک رساو ہوا میں آکسیجن کے ساتھ پرتشدد ردعمل ظاہر کرے گا اور جلنا شروع کرے گا۔اور ASH₃انتہائی زہریلا، کوئی معمولی رساو انسانی زندگی کے خطرے کا سبب بن سکتا ہے، یہ ان واضح خطرات کی وجہ سے ہے، اس لیے سسٹم کے ڈیزائن کی حفاظت کے تقاضے خاص طور پر زیادہ ہیں۔

گیسوں کی درخواست کا دائرہ  

جدید صنعت کے ایک اہم بنیادی خام مال کے طور پر، گیس کی مصنوعات کو وسیع پیمانے پر استعمال کیا جاتا ہے، اور دھات کاری، اسٹیل، پیٹرولیم، کیمیائی صنعت، مشینری، الیکٹرانکس، شیشہ، سیرامکس، تعمیراتی مواد، تعمیرات میں بڑی تعداد میں عام گیسیں یا خاص گیسیں استعمال ہوتی ہیں۔ فوڈ پروسیسنگ، ادویات اور طبی شعبے۔گیس کے استعمال کا خاص طور پر ان شعبوں کی اعلی ٹیکنالوجی پر ایک اہم اثر پڑتا ہے، اور یہ اس کی ناگزیر خام مال گیس یا پروسیس گیس ہے۔صرف مختلف نئے صنعتی شعبوں اور جدید سائنس اور ٹیکنالوجی کی ضروریات اور فروغ کے ساتھ ہی گیس انڈسٹری کی مصنوعات کو مختلف قسم، معیار اور مقدار کے لحاظ سے تیزی سے ترقی دی جا سکتی ہے۔

مائیکرو الیکٹرانکس اور سیمی کنڈکٹر انڈسٹری میں گیس کی درخواست

گیس کے استعمال نے سیمی کنڈکٹر کے عمل میں ہمیشہ ایک اہم کردار ادا کیا ہے، خاص طور پر سیمی کنڈکٹر کا عمل مختلف صنعتوں میں بڑے پیمانے پر استعمال ہوتا رہا ہے، روایتی ULSI، TFT-LCD سے لے کر موجودہ مائیکرو الیکٹرو مکینیکل (MEMS) صنعت تک، سبھی جو نام نہاد سیمی کنڈکٹر کے عمل کو مصنوعات کی تیاری کے عمل کے طور پر استعمال کرتے ہیں۔گیس کی پاکیزگی کا اجزاء کی کارکردگی اور مصنوعات کی پیداوار پر فیصلہ کن اثر پڑتا ہے، اور گیس کی فراہمی کی حفاظت کا تعلق اہلکاروں کی صحت اور پلانٹ کے کاموں کی حفاظت سے ہے۔

اعلی طہارت گیس کی نقل و حمل میں اعلی طہارت پائپنگ کی اہمیت

سٹینلیس سٹیل کے پگھلنے اور مواد بنانے کے عمل میں، فی ٹن تقریباً 200 گرام گیس جذب کی جا سکتی ہے۔سٹینلیس سٹیل کی پروسیسنگ کے بعد، نہ صرف اس کی سطح مختلف آلودگیوں سے چپک جاتی ہے، بلکہ اس کی دھاتی جالی میں بھی گیس کی ایک خاص مقدار جذب ہوتی ہے۔جب پائپ لائن کے ذریعے ہوا کا بہاؤ ہوتا ہے، تو دھات گیس کے اس حصے کو جذب کر لیتی ہے جو ہوا کے بہاؤ میں دوبارہ داخل ہو جاتی ہے، خالص گیس کو آلودہ کرتی ہے۔جب ٹیوب میں ہوا کا بہاؤ منقطع بہاؤ ہوتا ہے، تو ٹیوب دباؤ میں گیس کو جذب کرتی ہے، اور جب ہوا کا بہاؤ گزرنا بند ہو جاتا ہے، تو ٹیوب کے ذریعے جذب ہونے والی گیس حل کرنے کے لیے پریشر ڈراپ بناتی ہے، اور حل شدہ گیس بھی ٹیوب میں خالص گیس میں داخل ہو جاتی ہے۔ نجاست کے طور پر.ایک ہی وقت میں، جذب اور ریزولوشن کو دہرایا جاتا ہے، تاکہ ٹیوب کی اندرونی سطح پر موجود دھات بھی ایک خاص مقدار میں پاؤڈر پیدا کرتی ہے، اور یہ دھاتی دھول کے ذرات ٹیوب کے اندر موجود خالص گیس کو بھی آلودہ کرتے ہیں۔نقل و حمل کی گیس کی پاکیزگی کو یقینی بنانے کے لیے ٹیوب کی یہ خصوصیت ضروری ہے، جس کے لیے نہ صرف ٹیوب کی اندرونی سطح کی بہت زیادہ ہمواری کی ضرورت ہوتی ہے، بلکہ پہننے کے لیے مزاحمت کی بھی ضرورت ہوتی ہے۔

جب مضبوط سنکنرن کارکردگی کے ساتھ گیس استعمال کی جاتی ہے، تو پائپنگ کے لیے سنکنرن مزاحم سٹینلیس سٹیل کے پائپوں کا استعمال کرنا چاہیے۔بصورت دیگر، پائپ سنکنرن کی وجہ سے اندرونی سطح پر سنکنرن کے دھبے پیدا کرے گا، اور سنگین صورتوں میں، دھات کی پٹی یا سوراخ کا ایک بڑا حصہ ہوگا، جو تقسیم کی جانے والی خالص گیس کو آلودہ کرے گا۔

اعلی طہارت اور اعلی صفائی کی گیس ٹرانسمیشن اور بڑے بہاؤ کی شرح کی تقسیم پائپ لائنوں کا کنکشن۔

اصولی طور پر، ان سب کو ویلڈیڈ کیا جاتا ہے، اور استعمال شدہ ٹیوبوں کی ضرورت ہوتی ہے کہ جب ویلڈنگ کا اطلاق ہوتا ہے تو ان کی تنظیم میں کوئی تبدیلی نہیں ہوتی۔بہت زیادہ کاربن مواد والے مواد ویلڈنگ کے دوران ویلڈڈ حصوں کی ہوا کی پارگمیتا کے تابع ہوتے ہیں، جو پائپ کے اندر اور باہر گیسوں کے باہمی دخول کا باعث بنتے ہیں اور منتقل ہونے والی گیس کی پاکیزگی، خشکی اور صفائی کو تباہ کر دیتے ہیں، جس کے نتیجے میں گیسوں کو نقصان ہوتا ہے۔ ہماری تمام کوششیں.

خلاصہ طور پر، اعلی طہارت والی گیس اور خصوصی گیس ٹرانسمیشن پائپ لائن کے لیے، اعلی طہارت کے پائپ لائن سسٹم (بشمول پائپ، فٹنگز، والوز، VMB، VMP) کو بنانے کے لیے، اعلی طہارت کے سٹینلیس سٹیل کے پائپ کا خصوصی علاج استعمال کرنا ضروری ہے۔ اعلی پاکیزگی گیس کی تقسیم ایک اہم مشن پر قبضہ کرتی ہے۔

ٹرانسمیشن اور ڈسٹری بیوشن پائپ لائنوں کے لیے صاف ٹیکنالوجی کا عمومی تصور

پائپنگ کے ساتھ انتہائی خالص اور صاف گیس کی باڈی ٹرانسمیشن کا مطلب ہے کہ گیس کے تین پہلوؤں کے لیے کچھ تقاضے یا کنٹرول موجود ہیں۔

گیس کی پاکیزگی: جی گیس کی طہارت میں ناپاک ماحول کا مواد: گیس میں ناپاک ماحول کا مواد، عام طور پر گیس کی پاکیزگی کے فیصد کے طور پر ظاہر کیا جاتا ہے، جیسے 99.9999٪، ناپاک ماحول کے مواد کے حجم کے تناسب کے طور پر بھی ظاہر کیا جاتا ہے ppm، ppb، ppt

خشکی: گیس میں ٹریس نمی کی مقدار، یا گیلے پن کہلانے والی مقدار، جسے عام طور پر اوس پوائنٹ کے لحاظ سے ظاہر کیا جاتا ہے، جیسے وایمنڈلیی پریشر اوس پوائنٹ -70۔سی۔

صفائی: گیس میں موجود آلودہ ذرات کی تعداد، ذرہ کا سائز µm، کتنے ذرات/M3 کا اظہار کرنا ہے، کمپریسڈ ہوا کے لیے، عام طور پر اس لحاظ سے بھی ظاہر کیا جاتا ہے کہ ناگزیر ٹھوس باقیات کے کتنے mg/m3، جو تیل کے مواد کا احاطہ کرتے ہیں۔ .

آلودگی والے سائز کی درجہ بندی: آلودگی والے ذرات سے مراد بنیادی طور پر پائپ لائن کی اسکورنگ، پہننا، دھاتی ذرات، ماحول کے کاجل کے ذرات، نیز مائکروجنزم، فیجز اور نمی پر مشتمل گیس کی گاڑھی بوندوں وغیرہ سے پیدا ہونے والی سنکنرن اس کے ذرات کے سائز کے مطابق ہے۔ میں تقسیم کیا جاتا ہے

a) بڑے ذرات - 5μm سے زیادہ ذرہ کا سائز

ب) ذرہ - مواد کا قطر 0.1μm-5μm کے درمیان

c) الٹرا مائیکرو پارٹیکلز - ذرہ سائز 0.1μm سے کم۔

اس ٹیکنالوجی کے اطلاق کو بڑھانے کے لیے، ذرہ کے سائز اور μm اکائیوں کی ادراک کو سمجھنے کے لیے، مخصوص ذرہ کی حیثیت کا ایک سیٹ حوالہ کے لیے فراہم کیا گیا ہے۔

مندرجہ ذیل مخصوص ذرات کا موازنہ ہے۔